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【概要描述】瑞士VAT-09.1 - 帶保護(hù)圈的高真空閘閥09.1 帶保護(hù)圈的高真空閘閥已經(jīng)安裝在各種工藝條件下的嚴(yán)苛應(yīng)用中，證明了其在次晶圓廠應(yīng)用領(lǐng)域的可靠性。它可以輕易集成到任何應(yīng)用中。
| 品牌 | ATOS/意大利阿托斯 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合 |
|---|
瑞士VAT-09.1 - 帶保護(hù)圈的高真空閘閥
如果氣流中副產(chǎn)品的比例很高，形成的沉積物可能會(huì)導(dǎo)致閥門故障以及計(jì)劃外的維護(hù)工作。09.1 帶保護(hù)圈的高真空閘閥可避免這一問題。得益于其具有自清潔功能的特殊楔形設(shè)計(jì)以及保護(hù)圈，即便閥座上有大量沉積物，該高真空閘閥依然可以平穩(wěn)地打開和關(guān)閉。由于閥板的楔形設(shè)計(jì)，沉積物會(huì)被專門推離閥座或閘封，以始終保證可靠的密封性。此外，保護(hù)圈通過在閥門打開位置覆蓋外殼，防止在板中積聚任何沉積物。09.1 高真空閘閥在壓差高達(dá) 1 bar 的情況下可以正常運(yùn)轉(zhuǎn)。
09.1 帶保護(hù)圈的高真空閘閥已經(jīng)安裝在各種工藝條件下的嚴(yán)苛應(yīng)用中，證明了其在次晶圓廠應(yīng)用領(lǐng)域的可靠性。它可以輕易集成到任何應(yīng)用中。
09.1帶保護(hù)圈的高真空閘閥為氣動(dòng)類型。控制閥的標(biāo)準(zhǔn)電壓為 24 VDC。標(biāo)準(zhǔn)密封材料為氟橡膠，但可根據(jù)要求使用其他材料。此外，還可以集成軟抽功能，并為測量儀器等增加額外的接入點(diǎn)。
也可查看
09.1 采用楔形設(shè)計(jì)的高真空閘閥
09.2 HV 楔形設(shè)計(jì)的高真空插板閥
特點(diǎn):
由于楔形設(shè)計(jì)，此高真空閘閥具有自清潔功能
保護(hù)圈可防止積聚沉積物
閥門可在壓差高達(dá) 1 bar 時(shí)開啟
優(yōu)勢(shì):
在極惡劣條件下?lián)碛谐錾目煽啃?/p>
維護(hù)周期延長
低運(yùn)行成本
技術(shù)參數(shù)：
尺寸 | DN 100mm (4") | ||
|---|---|---|---|
驅(qū)動(dòng)器 | 氣動(dòng) | 雙作用 | |
閥體材料 | 不銹鋼 | ||
饋通件 | 波紋管 | ||
標(biāo)準(zhǔn)法蘭 | ISO-F | ||
泄漏率 | 閥體 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| 閥座 | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | ||
壓力范圍 | 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (絕對(duì)壓強(qiáng)) | ||
閥板可承受壓差 | ≤ 1.2 bar | ||
打開時(shí)可承受壓差 | ≤ 1 bar | ||
維護(hù)前開關(guān)次數(shù) | 1000 次 | ||
溫度 | 閥體 | ≤ 150 °C | |
驅(qū)動(dòng)器 | ≤ 100 °C | ||
電磁閥 | ≤ 50 °C | ||
位置指示器 | ≤ 70 °C | ||
材料 | 閥體、閥板 | AISI 304 (1.4301) | |
波紋管 | AISI 633 (AM350) | ||
密封 | 閥蓋、閥板 | 氟橡膠（含氟彈性體） 可選：FFKM | |
安裝位置 | 任何位置 | ||
電磁閥 | 24 VDC，1 W | ||
位置指示器：觸點(diǎn)額定值 | 電壓 | 24 VAC/DC | |
電流 | ≤0.5 A | ||
功率 | 最大為 10 W | ||
| 重量 | 20 kg / 44.1 lbs | ||
瑞士VAT-09.1 - 帶保護(hù)圈的高真空閘閥
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